集成电路的主要制造流程是( )。
硅抛光片--晶圆--芯片--成品测试--集成电路
晶圆---硅抛光片--成品测试--芯片--集成电路
硅抛光片--芯片--晶圆--成品测试--集成电路
硅片--芯片--成品测试--晶圆--集成电路
